DW9621系列固晶机是面向高绑定力应用需求的高速固晶机,通过自研的力控系统,在±10微米的高贴片精度下,可实现高达500N,高达10000片每小时的较致贴片效率(依赖工艺制程)。DW9621系列产品采用开放式架构和模块化设计,为客户提供较致效率的按需定制能力,通过集成了点胶、自动换、热压贴合等功能,可处理多尺寸晶圆,能实现多种基板传送方式,满足功率模块,IGBT,SiC,MCM,SiP等封装工艺。
产品特点:
1.高绑定力:通过自研的力控系统,可实现高达500N绑定力
2率:满足±10微米的高贴片精度,可实现高达10000片/小时的较致贴片效率(依赖工艺制程);
3.支持烧结工艺:烧结薄膜处理,烧结膏分配,预涂烧结膏
4.Bong头加热温度450℃,基板加热温度300℃
4.可定制开放式平台:模块化设计结合标准化平台设计理念,每6个月推出一个全新产品线;兼容不同品类的开发需求,支持多种上料方式,可根据客户需求定制生产线。
技术数据 | 芯片封装 |
贴片精度 | ±10µm @ 3σ |
加热温度 | Up to 350 °C (可选) |
绑定你 | 500 N (max) |
旋转角度 | 0°- 360° rotation |
晶圆尺寸 | Wafer size: 8" - 12" (4",6"可定制) |
芯片/元件尺寸 | 0.8 mm - 15 mm(可按需定制) |
芯片厚度 | 0.05 mm - 7 mm(die attach) |
框架尺寸 | 5" - 15" (125 mm - 375 mm) |
供料方式 | Waffle pack/Gel-Pak®2” x×2” and 4” ×4”/JEDEC tray |
基板类型 | FR4, ceramic, flex, boat, 8"/12"晶圆,其他 |
UPH | 10000片/小时(max) |
设备尺寸 | 1,160 mm x 1,225 mm x 1,800 mm |